元素检测范围13铝(Al)~92铀(U)
同时检测元素可同时分析24种元素,五层以上镀层
含量测试范围0.1%~99.9%
厚度范围≤120μm
检出限0.0025μm
厚度标准偏差≤3%
探测器Fast-SDD探测器
探测器分辨率140±5ev
X射线装置微焦斑W靶射线管
检测时间5~40秒
准直器多准直器自动切换
平台移动范围250mm(X)×250mm(Y)
操作环境温度0~30℃,湿度≤70%
工作电源AC220V±5V
外形尺寸660mm×860mm×735mm
仪器重量120kg
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